[设备]探针式表面轮廓仪(台阶仪)

	中文名称：	探针式表面轮廓仪(台阶仪)
	英文名称：	Probe type surface profilometer (step gauge)
	仪器编号：	02206675
	仪器型号：	Dektak XT
	生产厂家：	Bruker
	放置位置：	先进制造大楼西楼B108柔性电子制造实验室

测量原理

电容式

功能介绍

探针式表面轮廓仪（台阶仪）具有优异的抗噪声特性，可以提供更高的重复性和分辨率。可以广泛的应用于微电子器件、半导体、电池、高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域 ，对各种复杂精密元器件精确测量表面形貌、台阶高度和表面粗糙度等。适用于柔性电子制造工艺实验平台，能及时对镀膜工艺的监控监测和及时改善。

主要技术参数 ：

·垂直测量范围：可达1毫米。

·探针尖半径：50nm～25um

·探针加力范围：1毫克～15毫克

·扫描长度：50um～5mm

·台阶高度重复性：<5埃

·测量样品最大尺寸：50mm