[设备]白光干涉仪ER230

	中文名称：	白光干涉仪
	英文名称：	white light interferometer
	仪器编号：	02306672
	仪器型号：	ER230
	生产厂家：	板石智能科技（深圳）有限公司
	放置位置：	先进制造大楼东楼W102集成电路测量装备研究中心

功能介绍

测量各类样品的表面微观形貌、微观轮廓、表面粗糙度及其分析等。

主要技术参数

（1）Z轴扫描范围：5000um

（2）最大扫描速度：400um/s

（3）RMS重复性：＜0.005nm

（4）1-σ，12μm台阶高度重复性：＜3um/0.025%

（5）1-σ，12um台阶高度准度：＜10nm/0.08%

（6）被测物体反射率：0.02%-100%

（7）横向分辨率几百nm