[设备]分光光度计3700i

	中文名称：	分光光度计3700i
	英文名称：	Spectrophotometer
	仪器编号：	02220444
	仪器型号：	SolidSpec-3700i DUV
	生产厂家：	日本岛津
	放置位置：	先进制造大楼东楼W102集成电路测量装备研究中心

功能介绍

可实现170nm-3300nm波段范围内的高精度吸收光谱、反射光谱和透射光谱的测试分析，进而分析材料和器件的物理光学性质。可用于新材料宽光谱光学特性分析、新器件宽光谱光学特性测量评估等领域。

主要技术参数

（1）层析穆勒矩阵散射场建模计算与测量能力；

（1）波段范围：170nm-3300nm

（2）光谱分辨率：0.1nm

（3）光谱带宽：UV/VIS波段0.1nm-8nm可切换；NIR波段0.2nm-32nm可切换

（4）检测器：光电倍增管 / InGaAs /Cooled PbS

（5）杂散光：<0.0001T @220nm&340nm；<0.0005T @1420nm；<0.005T @2365nm

（6）最大样品尺寸：>500mm*500mm